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2025
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2024湾芯展，武汉汇达参展！
所属分类：
公司新闻
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企业介绍
汇达专注于半导体行业应用的精密金刚石工具的研发与制造，立足于半导体“卡脖子”材料研发，向精密陶瓷材料方向拓展。依托武汉万邦在金刚石工具领域30年的技术沉淀，快速实现了CMP用钻石修整盘 (Disk) 的产业化开发和批量应用，是全球唯一一家拥有钎焊、电镀、CVD三种修整盘制备工艺的企业。采用独特技术路线从源头解决掉钻问题，目前已经在国内各个先进制程Fab批量使用。
公司地址：武汉经济技术开发区出口加工区25MC地块金刚石工具出口加工生产基地项目一期工程A6厂房
公司网址：http://www.whdlhd.com
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产品介绍
CMP Disk
拥有钎焊、电镀、CVD三种修整盘制备工艺，已完成40余款DISK产品开发，其中20款已获得稳定销售订单，并已大规模应用于先进逻辑、DRAM、3D NAND等工艺制程。
减薄砂轮
采用树脂和陶瓷结合剂砂轮，具有研磨速度高、磨削表面质量高、寿命长等特点，粗磨砂轮以400目为主，精磨砂轮以5000到30000目为主，可实现10纳米以内表面粗糙度和较低的表面损伤层。对标日本DISCO系列，目前多款产品已在晶圆制造工厂验证。
切割刀
切割刀产品的金刚石颗粒分布均匀度高，自锐性好、锋利度高，采用多段固化工艺，性能稳定强度可调，能够满足客户端不同需求。目前已在晶圆制造工厂验证并使用。
关键词：
汇达年产6万片集成电路CMP用金刚石修整盘项目（阶段性） 竣工环境保护验收公示
汇达年产6万片集成电路CMP用金刚石修整盘项目（阶段性） 竣工环境保护验收公示
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